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積體光學實驗室
Integrated Optoelectronics Laboratory
 
成果簡介
 
研究成果代表例子
1.積體光學元件

(1)電光或熱光可調之鈮酸鋰微環形濾波元件

 
本實驗室應用濕式化學蝕刻技術,在鈮酸鋰上製作出微脊形結構,提高光波導侷限光場能力,以構成環形半徑為100μm的微環形濾波元件,並應用於傳輸光波之特定波長的擷取與濾除。藉由鈮酸鋰的熱光效應和電光效應,可對其擷取或濾除波長進行調變,其具有元件尺寸小、調變 速度快、製作成本較低等特點。

(2)氧電漿製程微調濾波波長
微環形濾波元件對於製程精確度要求極高,因此需要進行製程後濾波波長的調整,以得到所需的濾波特性。
本實驗室提出應用氧電漿處理技術,來對製作在矽基板上之氮化矽微環形濾波元件之濾波波長進行調整,此方法具有波長調整範圍大、調整速度快、與標準半導體製程相容之優點。此研究在發表後,在光電專業雜誌Photonics Spectra有專文介紹(May 2005)。