學術資源網
 
 
電化學與製程減廢研究室
Electrochemistry & Process Waste Reduction
 
成果簡介
 
 ◈ 研究成果代表
     製程廢料再生與處理
    以切損的矽廢料回收為例,使用親水性磨料的矽切割廢料作分析基礎,利用電化學技術移除廢料中的雜質,並分析回收效能。目前已可去除廢料中的醇類,同時移除金屬雜質,並輔以電場作用提純矽物料與回收磨料。
     元件金屬化製程
    範圍包括銅製程的平坦化、電沉積以及蝕刻技術等。以電化學技術分析金屬化製程可了解其反應機構,並作為濕式製程溶液選擇的參考。
     感測器微電極製作
    利用低溫多晶矽薄膜電晶體製作生醫感測器之電極製備與分析,獲得中華民國發明專利證書 (I258173) 。