學術資源網
 
 
光資訊處理暨微光學實驗室
Optical Information Processes & Micro Optics
 
成果簡介
 
◈ 研究成果代表
     遠場相位移微影技術 (Far-field phase-shift lithography)
  利用傅立葉光學系統,在透鏡的背焦面產生相似於近場的相位移微影圖案中的 特徵寬度可以達到、甚至小於系統的繞射極限,而所用的光學系統比近場相位移微 影光學系統簡單,成本低廉。而使用空間光調變器取代光罩,縮短光罩製作和驗證 時間,適合學術單位和研究型微影需求。
     雷射光斑量測與抑制技術 (Speckle measurement and suppression for laser imaging)
  光斑是以雷射為光源的光學系統的共同現象,也嚴重影響雷射成項系統的影像品 質。本實驗室發展測量雷射光般的相關技術,並且以空間光調變器取代擴散片來 降低光斑現象。此外,我們提出以負相關光斑圖形方法更有效率地抑制光斑現象。
     繞射光學元件設計和應用 (Design and application of diffractive optical elements)
  繞射光學元件可廣泛應用於現代的光電、光學系統中,本實驗室具有設計繞射光 學元件的各種最佳化演算法(遞迴傅立葉演算法、模擬退火法、基因演算法等)的技術和實現方法,可開發適合多種應用的繞射光學元件,並驗證其功能。