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先進微系統元件實驗室
Advanced Microsystems and Device Laboratory
 
設備簡介
 
儀器設備
    1. CMOS晶片設計、製造:
    由學生撰寫專題申請,委託國家晶片設計中心(CIC)下線製造
    2. MEMS製程技術:
    使用位於本所微奈米系統實驗室或台大北區奈微米中心之黃光、鍍膜、蝕刻及表面檢測設
    3. MEMS設計模擬:
    Server工作站3部及各種模擬軟體,包括ANSIS, CoventorWare, Maxwell, Lakers,Intellisuite等
    4.量測設備:
    探針量測台、I-V特性曲線量測儀、PPM級標準氣體測試系統、磁控濺鍍機、熱蒸鍍機、自製之曝光/顯影系統、數位示波器、波形產生器、Keithley 2000/2400微電源表、SRS鎖相放大器、功率放大器、光學顯微鏡、工具顯微鏡等